

產品簡介
真空管式爐是一款臥式密閉管式高溫熱處理設備,集成真空、氣氛、程控加熱一體化系統,主要用于實驗室與中試生產。設備采用雙層風冷爐體,兩端真空法蘭密封爐管,可抽至真空狀態或通入氮氣、氬氣等保護氣氛,隔絕空氣避免工件氧化。
雙層風冷爐體:冷軋鋼板外殼,中間循環風冷,1000℃高溫時外殼溫度≤60℃;內層氧化鋁多晶纖維保溫,保溫層厚度 80–150mm,節能、溫場均勻。
加熱升溫系統
1200℃機型:鐵鉻鋁電阻絲
1400℃機型:硅碳棒
1600℃機型:高純硅鉬棒
爐管腔體(核心耗材)
石英管:≤1100℃,透光、耐酸堿,中性氣氛
99 剛玉氧化鋁管:≤1600℃,耐高溫、抗氧化
石墨管:2000℃超高溫,僅限惰性氣氛,禁氧
真空密封系統:KF 真空法蘭 + 氟橡膠 O 圈 / 金屬密封;機械泵、分子泵機組可選
氣氛氣路系統:多路進氣、轉子流量計 / MFC 質量流量計,支持 N?、Ar、低濃度 H?、氨氣
智能溫控系統:觸摸屏 PID 程序控溫,多段升降溫、超溫、斷偶、漏電多重安全保護
高密封真空環境:可反復抽真空 - 充氣置換,極低氧分壓,適配易氧化粉體、金屬、鋰電材料燒結
精準程序控溫:30–50 段工藝曲線存儲,升溫速率 0–20℃/min 可調,控溫精度 ±1℃,恒溫區溫差 ±2~5℃
低能耗輕量化爐膛:真空成型氧化鋁纖維,重量僅傳統耐火磚 1/5,升溫快、降溫快
安全防護齊全:雙層隔熱風冷、超溫自動斷電、加熱元件過流保護、氫氣選配防爆結構
靈活定制:管徑 φ40/60/80/100/120mm;恒溫區 200–600mm;單 / 雙溫區、旋轉管式、立式可選
新能源:鋰電池正負極材料煅燒、固態電解質燒結
粉末冶金:鈦合金、不銹鋼、銅基粉末真空燒結、退火、釬焊
陶瓷材料:氧化物、氮化物、碳化物陶瓷高溫燒結、排膠
半導體 / 納米:CVD 氣相沉積、薄膜制備、納米粉體熱解
高校科研:固相合成、熱重實驗、金屬還原、氮化、碳化實驗
| 參數項目 | 標準指標 |
|---|---|
| 控溫方式 | 智能觸摸屏 PID 可編程控溫 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫場均勻度 | ±2~5℃(恒溫段內) |
| 升溫速率 | 0~20℃/min(分段限速,高溫段≤5℃/min) |
| 程序段數 | 30~50 段,存儲 100 組工藝曲線 |
| 測溫元件 | K 型(≤1200℃)/S/B 型(1400/1600℃) |
| 爐體結構 | 雙層殼體 + 風冷循環,外殼≤60℃ |
| 安全保護 | 超溫、斷偶、過流、漏電、加熱故障報警停機 |
| 電源 | φ≤80 小管徑:220V 單相;大管徑 / 1600℃:380V 三相 |
| 整機功率 | 3–10kW(隨管徑、恒溫區加長遞增) |
| 適用氣氛 | N?、Ar、CO?;選配防爆可通 5% 以下 H?、分解氨 |
| 氣路配置 | 標配 2 路進氣,可選 MFC 精密質量流量控制 |
短時最高溫度:1200℃;長期連續使用:≤1100℃
加熱元件:鐵鉻鋁電阻絲
標配爐管:高純石英管 φ40/60/80/100mm
標配真空:單級旋片機械泵,極限真空≤1Pa
恒溫區可選:200/300/400mm
適用:鋰電材料、普通陶瓷、金屬退火、CVD 低溫沉積
短時最高溫度:1400℃;長期連續使用:≤1300℃
加熱元件:硅碳棒
標配爐管:99 剛玉氧化鋁管
真空選配:機械泵(≤1Pa)/ 機械泵 + 分子泵(5×10?3Pa 高真空)
恒溫區:250–450mm
適用:氧化物陶瓷、硬質合金、熒光粉、還原燒結
短時最高溫度:1600℃;長期連續使用:≤1550℃
加熱元件:高純硅鉬棒
測溫:B 型鉑銠熱電偶
爐管:高純剛玉管(石英管不可用)
保溫層厚度:150mm 加厚氧化鋁纖維
真空系統標配分子泵機組,高真空環境
適用:氮化鋁、碳化硅、特種陶瓷、航空合金熱處理
低真空標配:單級旋片泵,極限真空 ≤1Pa,負壓 - 0.099MPa,滿足常規惰性氣氛置換
高真空高配:機械前級泵 + 渦輪分子泵,極限真空 5×10?3Pa,適配高純材料、薄膜沉積、低分壓還原工藝